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반도체 EUV 장비 규제 합리화 … 장비 도입기간 단축
[에너지신문] 한국가스안전공사가 반도체 산업의 핵심 중 하나인 극자외선(EUV) 노광장비의 신속한 국내 도입을 위한 제도개선에 나서고 있어 주목된다.
한국가스안전공사 박경국 사장과 ASML 코리아 최한종 대표는 9일 반도체 산업 현장의 고압가스 안전관리 기준 합리화 및 향후 협력방안에 대해 논의했다.
이번 논의는 향후 반도체 산업의 지속적이고 안정적인 성장을 지원하기 위한 협력 방안을 모색하기 위한 것이다.
▲ 박경국 한국가스안전공사 사장 (오른쪽)과 최한종 ASML 코리아 대표이사가 고압가스 안전관리 기준 합리화 및 향후 협력 방안에 대해 논의하고 있다.
가스안전공사는 그간 EUV 장비의 국내 도입과정에서 제기됐던 현장 애로사항을 해소하고, 안전관리의 실효성을 높이기 위해 검사 절차를 개선했으며, 재료 및 두께에 관한 신소재 규격을 인정하는 등 관련 제도를 정비해 왔다.
특히 이번 제도 개선으로 EUV 장비의 분류가 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘고압가스 특정설비’로 변경되며 기존의 국내 장비 설치 현장 뿐만 아니라 해외 제작 현장에서도 검사를 수행할 수 있게 됐다는 평이다. 이에 따라 기존 1개월 이상 걸리던 장비 도입 기간이 10일 정도로 단축되는 등 장비 도입의 효율성 향상과 반도체 산업현장의 행정적‧시간적 부담 완화로 이어질 것이라는 기대다.
박경국 가스안전공사 사장은 “안전이 지켜지는 기술적 토대 위에 과도한 규제의 합리적 개선이 필요하다”라며 “앞으로도 국민의 가스안전 확보를 최우선 가치로 삼는 동시에 반도체 산업을 비롯한 가스산업 전반의 발전을 뒷받침하기 위해 산업계와 지속적으로 소통하겠다”고 밝혔다.