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(왼쪽부터) 최한종 ASML 코리아 대표이사와 박경국 한국가스안전공사 사장이 고압가스 안전관리 기준 합리화 및 향후 협력 방안에 대해 논의하고 있다./한국가스안전공사 제공

[투데이에너지 신영균 기자] 한국가스안전공사가 반도체 산업 현장에서 사용되는 특수가스 안전관리 강화에 주력하고 있다. 특히 제도 개선 등을 통해 관련 기업의 사업 효율성을 향상시키며 산업 발전에 기여하고 있다. 가스안전공사는 9일 ASML 코리아와 반도체 산업 현장을 대상으로 고압가스 안전관리 기준 합리화 및 향후 협력 방안에 대해 논의했다고 밝혔다.

ASML 코리아는 세계 최대 반도체 노광장비 기업인 ASML의 한국 법인이다. 현재 삼성전자·SK하이닉스 등에 EUV 노광장비를 공급 중이며 기술 지원을 담당하고 있다. 이번 양사 간 논의는 반도체 산업에서 핵심인 극자외선(EUV) 노광장비의 신속한 국내 도입을 위한 제도 개선 등과 관련해 추진됐다. 또한 반도체 산업이 지속 성장할 수 있도록 지원하기 위한 협력 방안을 모색한다는 목적도 내포됐다.

그간 가스안전공사는 EUV 장비를 국내에 도입하는 과정에서 제기된 현장 애로사항을 해소하고 안전관리 실효성을 높이기 위해 검사 절차를 개선했다. 아울러 재료와 두께에 관한 신소재 규격을 인정하는 등 관련 제도를 정비하고 있다. 특히 EUV 장비 분류가 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘고압가스 특정설비’로 변경되도록 제도를 개선했다.

이를 통해 기존 국내 장비 설치 현장 뿐 아니라 해외 제작 현장에서도 검사를 수행할 수 있게 됐다. 그 결과 기존 1개월 이상 걸리던 장비 도입 기간이 10일 정도로 단축되는 등 효율성이 향상됐다. 이는 반도체 산업현장에서 행정 절차를 간소화하고 시간을 대폭 단축하는 효과가 발생할 것으로 기대되고 있다.

박경국 가스안전공사 사장은 “안전을 기반으로 과도한 규제는 합리적 개선이 필요하다”며 “앞으로도 대국민 가스 안전 확보를 최우선 가치로 삼는 동시에 반도체 산업을 비롯한 가스 산업 발전을 뒷받침하기 위해 산업계와 지속적으로 소통하겠다”고 밝혔다.

■ 용어 설명

EUV(Extreme Ultraviolet) = 극자외선으로 파장이 매우 짧은 특수한 빛을 이용해 반도체 회로를 초미세하게 구현하는 기술

EUV 노광장비 = EUV 빛을 사용해 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 그리는 핵심 제조 장비. 첨단 반도체 생산에 필수적인 장비다.

출처 : 투데이에너지(https://www.todayenergy.kr/)