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반도체 가스박스 내에 밸브류, 레귤레이터, 가스배관 등을 매뉴얼에 따라 조립하는 유라테크놀로지의 베테랑 기술자들.

[가스신문 = 한상열 기자] 반도체장비에 부착된 밸브·레귤레이터와 가스박스(Gas Box)는 각종 특수가스를 제어하는 역할을 하는 매우 중요한 부품 및 장비다. 특히 가스박스의 경우 노후화되거나 오염이 되더라도 높은 수준의 기술로 정비(Overhaul)하면 새것처럼 다시 쓸 수 있다. 고가의 장비도 오랜 기간 사용하다 보면 성능이 떨어질 수 있는데 우수한 기술력을 통해 신품이나 다름없이 사용할 수 있도록 수리(Repair)하는 기업이 있어 국내 특수가스업계로부터 높은 관심을 모은다.

경기도 오산에 자리 잡은 ㈜유라테크놀로지(대표 배시원)는 오랫동안 사용한 가스박스 내 각종 밸브, 레귤레이터, 가스배관을 분해, 세정, 후처리 등의 과정을 거쳐 완벽한 수준으로 재생해 내고 있다.

유라테크놀로지 배시원 대표는 “무려 1억 원 이상을 상회하는 가스박스를 사용하다 그냥 버리면 국가적 자원 낭비가 아니겠냐”면서 “가스박스를 우리 회사에 맡겨 수리 및 정비할 경우 1/10의 비용만으로도 얼마든지 재사용할 수 있다”고 강조했다.

배 대표는 또 “우리 회사에는 반도체용 밸브, 레귤레이터, 가스박스의 특수가스공급장치의 수리 및 정비와 관련해 풍부한 기능을 갖춘 베테랑 기술자들이 포진해 있다”면서 “밸브, 레귤레이터 등도 1/3의 비용으로 수리를 마치면 A급이나 다름없는 품질로 구현해 낼 수 있다”고 덧붙였다.

1/10 비용으로 가스박스 기능 회복

반도체장비 가스박스는 공압밸브, 수동밸브, 레귤레이터, 필터, MFC, 가스배관 등을 조합해 만들기 때문에 정글과 같이 매우 복잡한 구조를 지니고 있다. 가스박스를 수리해 재사용할 수 있도록 풍부한 노하우를 갖춘 이 회사는 자원 재활용을 통한 국가적 낭비 요소를 줄이는 역할도 해왔다. 이 회사는 또 반도체회사에 원가 절감 요소를 부여하면서도 반도체의 품질 및 가격 경쟁력 제고에 큰 도움을 주는 등 착한기업으로 잘 알려져 있다.

특히 이 회사는 각종 밸브류를 세정함에 있어 반도체회사에서 많이 사용하고 있는 불산, 황산, 질산, 염산 등 위험물질을 사용하지 않고 자체 개발한 친환경 세정 약품을 적용함으로써 ESG경영을 하는 기업으로도 명성이 자자하다.

원가 절감·자원 재활용 ‘ESG경영’

이 같은 케미칼 클리닝의 효과는 다이어프램, 밸브 몸체의 표면 오염물질과 반응해 완벽하게 제거할 수 있으며, 특히 유라테크놀로지는 자체 개발한 세정 약품인 ‘ACE-500’을 사용함으로써 다이어프램이나 밸브 몸체의 표면에 전혀 손상이 없는 것이 강점이다. 그러나 경쟁사들이 세정용으로 사용하는 케미칼은 소매표면에 손상이 발생할 수 있음을 조심스럽게 밝혔다.

㈜유라테크놀로지는 2004년 설립하여 ㈜TES 업체등록을 하고 2005년부터 삼성LCD, 삼성전기, 코스트넷, 에드워드 등에 업체등록을 했으며, 지난 2010년 삼성전자 반도체사업부 기흥 및 화성사업장, 2020년에는 삼성전자 평택사업장까지 등록함으로써 지금까지 23년간 남다른 기술력을 인정받고 있다.

이밖에 주요 고객사로 삼성, 하이닉스 외에 에드워드, ASM코리아, KoMiCo 등 50여개 업체와 거래하고 있으며 반도체장치 세정방법, 증착장치 및 방법, 밸브작동검사장치 등의 특허를 받기도 했다. 이 회사는 벤처기업확인서, 개발전담부서 인정서, ISO 9001/14001/45001 등의 인증도 획득하는 등 품질로 승부하고 있다.

각종 검사 및 측정장비를 갖추고 있으며 성적서까지 자체 발급하는 이 회사는 반도체회사들이 밸브류를 오버훌해 다시 사용할 경우 원가 절감은 물론 자원을 재활용한다는 측면에서 매우 의미 있게 받아들이고 있으며, 반도체회사들이 ESG경영에 다가설 수 있도록 돕는 등 그야말로 고객사와 상생, 협력하는 점이 더욱 돋보인다.

각종 밸브류, 레귤레이터 등을 부착해 복잡한 구조를 지닌 가스박스를 분해한 후 세정 약품으로 세정, 건조하고 밸브 내의 핵심부품은 신품으로 교체, 재조립함으로써 새것과 다름없는 성능을 되찾고 있다.

출처 : 가스신문(https://www.gasnews.com/)